How to Choose the Right EFU for Your Cleanroom Environment: A Step-by-Step Guide

如何為清潔室環境選擇合適的EFU:逐步指南

2025-10-08 21:53:56

:僅生產製造商

粉絲,過濾器和內部控制,消除對關鍵組件的第三方的依賴。傳統設備專家


:成功地升級了整個亞洲的500多個老化工具,通過量身定制的EFU改造,提高了多達20%的產量。

全球合規性

  • :符合ISO 14644,SEMI和ISO 9001標準,具有認證解決方案。6。案例研究:DeShengxin Efus轉化半導體的產生
  • 領先的半導體晶圓廠在其12年曆史的光刻機器中面臨慢性顆粒污染,導致產量損失8%。 DeShengxin交付:帶有ULPA過濾器的自定義EFU
  • :99.9995%在0.12μm時效率。啟用IoT的控件
  • :根據過程需求進行實時氣流調整。傳統工具集成

:用於無縫改造的修改安裝括號。

結果

  • 粒子計數減少了99%。3個月內,晶圓產量增加了15%。
    • ROI在8個月內實現了。
    • 密鑰SEO關鍵字
  • “半導體的自定義EFU解決方案”3個月內,晶圓產量增加了15%。
    • “垂直EFU製造商”
    • “ Deshengxin EFU改造”
  • “ ULPA過濾器風扇單元”3個月內,晶圓產量增加了15%。
    • “潔淨室設備升級服務”
    • 通過使技術規格,自定義功能和供應商專業知識保持一致,您可以選擇一種EFU,以增強清潔室性能,延長設備壽命並確保遵守全球標準。

Deshengxin的無與倫比的垂直整合,行業證實的專業知識和對創新的承諾

使我們成為尖端設施和舊設備升級的理想合作夥伴。立即聯繫Deshengxin為了發現我們的EFU如何優化您的潔淨室環境,因為精確製造應該得到精確的氣流解決方案。

  • 機械設計:能夠修改尺寸,安裝括號和氣流方向的能力。
  • 過濾升級:定製過濾介質,用於耐化學性能或靜態耗散。
  • 智能控制:可配置的PLC或SCADA系統,用於與現有協議無縫集成。
  • 傳統設備改造:升級過時的系統以滿足現代潔淨室標準的專業知識(例如,衰老半導體工具的收率提高)。

為什麼Deshengxin在自定義中表現出色
作為中國唯一完全垂直整合的EFU製造商,Deshengxin控制生產的各個方面(從風扇電動機和HEPA/ULPA過濾器到控制系統),以確保無與倫比的靈活性以滿足您的自定義需求的100%

  • 獨特的設計:修改EFU高度,氣流方向或安裝支架,以適合舊式設備或非常規佈局。
  • 特定於行業的解決方案:半導體晶圓廠的抗靜電過濾器,用於濕工具工具的化學耐藥塗料。
  • 快速原型製作:內部研發和生產團隊可以快速設計驗證和交付。

4。評估安裝和維護

  • 安裝類型3個月內,晶圓產量增加了15%。
    • 天花板安裝設備的水平fus。
    • 側壁或緊湊裝置的垂直EFU。
  • 易於維護3個月內,晶圓產量增加了15%。
    • 快速釋放過濾器更換機制。
    • 減少停機時間的自我診斷系統。
  • 振動阻力:可靠的安裝解決方案,以最大程度地減少敏感過程中的振動干擾。

Deshengxin的安裝優勢
我們的efus已預先設計模塊化組件並包括專用安裝套件,以與光刻機或儲藏器等設備無縫集成。安裝後,我們提供:

  • 現場培訓:確保您的團隊可以獨立運營和維護EFU。
  • 智能維護警報:通過物聯網連接系統實時過濾器壽命跟踪。

5。選擇全方位服務的供應商

選擇提供的製造商設計與安裝支持

  • 端到端解決方案:從CAD建模到現場調試。
  • 行業專業知識:在半導體,小組或製藥部門中經驗豐富的經驗。
  • 內部生產:像Deshengxin(具有集成風扇,過濾器和控制生產)這樣的製造商確保質量一致性和提前時間更快。

為什麼Deshengxin脫穎而出

  • 中國最值得信賴的EFU合作夥伴:服務15年以上的頂級半導體和麵板製造商。
  • 完整的垂直整合




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